Alumina-Dabere na Porous seramiiki agụụ Chuck maka Thin Wafer Njikwa
E ji 99.6% Al₂O₃ dị ọcha nke e ji alumina rụọ chuck nke St.Cera, nke nwere oghere oghere a na-achịkwa nke 30–45%, yana nha oghere ahụ dị otu site na 10 ruo 50 μm. N'adịghị ka chucks ndị a gwuru agbaji, elu oghere ahụ na-enye oghere kesara n'akụkụ wafer dum, na-ewepụ akara n'akụkụ ma na-eme ka o kwe omume ijide obere ihe dị gịrịgịrị (≤100 μm) ma ọ bụ wafer ndị a gbagọrọ agbagọ. Ihe a na-enye ike flexural ≥250 MPa na nkwụsi ike okpomọkụ ruo 400°C n'ikuku.
Nkọwapụta(dabere na 99.6% Al₂O₃):
| Akụ na ụba | Uru |
| ihe | 99.6% Alumina (Ọcha) |
| Ntụpọsi | 30–45% (enwere ike ịgbanwe) |
| Nha oghere nkezi | 10–50 μm |
| Ike nke Flexural | ≥250 MPa |
| Njupụta | 3.88 g/cm³ |
| Ogologo (karịrị 200mm) | ≤5 μm |
| Oke okpomọkụ ọrụ kachasị | 400°C (ikuku) |
| Mmecha Elu | A gbajiri agbaji (Ra ≤0.8 μm) |
Ngwa:
- · Nchacha azụ wafer dị gịrịgịrị (≤50 μm)
- · Ịwụnye wafer gbagọrọ agbagọ maka ịkpụ
- · Nnweta ihe eji egwuri egwu
- · Njikwa ihe mkpuchi iko
Mmepụta:
A gwakọtara ntụ ntụ na ihe ndị e ji oghere mee → ịpịnye ihe na-adịghị agbanwe agbanwe → ịpụpụ na okpomọkụ 1600°C → ịpụpụ ruo ọkpụrụkpụ ikpeazụ. A na-anwale ihe ọ bụla e ji mmiri mee maka nha ikuku (nhazi nrụgide <5%) ma lelee ya maka nkesa nha oghere (SEM).
Uru karịa chucks nkịtị:
- · Enweghị akara azụ wafer ma ọ bụ mgbanwe die
- · Na-ejide wafers nwere ụta ruo 500 μm
- · Elu na-ehicha onwe ya (oghere ndị ahụ na-eguzogide mkpọchi)
- · Nkwado otu uwe na-ewepụ nrụgide mpaghara
Cnhazi:
Ọdịdị gburugburu ma ọ bụ akụkụ anọ, dayameta ya bụ 100–450 mm. Mgbaaka mkpuchi ọnụ dị maka njikwa oghere ikuku.
Rịọ maka ihe nlele maka nha wafer gị kpọmkwem.
