Alumina Dabere na Standard agụụ Chuck - High rigidity maka nkenke Machining
E ji 99.8% Al₂O₃ mepụta chuck vacuum nke dabere na alumina, na-enye elu dị larịị nke na-anaghị amị amị nke nwere ụkpụrụ oghere vacuum pụrụ iche. Ọ na-enye ike pụrụ iche (modulu Young 380 GPa) na ịdị larịị (≤3 μm), na-eme ka ọ dị mma maka ịchacha, ịkụcha, na ịkpụcha wafer semiconductor na ihe ndị dị na anya. Oke ike nke ihe ahụ (32 W/m·k) na-eme ka okpomọkụ dịrị otu ebe n'oge nhazi.
Nkọwapụta(dabere na 99.8% Al₂O₃):
| Akụ na ụba | Uru |
| ihe | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Njupụta | 3.93 g/cm³ |
| Ike nke Flexural | 361 MPa |
| Ike Vickers | 16 GPA |
| Modulu nke Young | 380 GPA |
| Ọgbakọ okpomọkụ | 32 W/m·k |
| Ịdị larịị | ≤3 μm (karịa 200mm) |
| Elu siri ike (akụkụ chuck) | Ra ≤0.4 μm |
| Oke okpomọkụ ọrụ kachasị | 800°C |
Ngwa:
- · Ngweri azụ Wafer (nke siri ike ma dịkwa mma)
- · Ịkpụcha ihe ndị na-agbawa agbawa nke ọma
- · Ịchacha ihe ndị e ji seramiiki mee
- · Ịchacha anya anya
Mmepụta:
Nha nhata nke akụkụ abụọ ahụ → Ịdọ aka na ntị diamond (nhọrọ) → Ịdọ aka na ntị → Ịsacha ultrasonic → Nnyocha dị larịị 100% site na iji laser interferometer.
Auru:
- · Nkwado siri ike na-ebelata ntụgharị uche n'okpuru ibu
- · Enweghị mmepụta ihe dị iche iche site na nhazi oghere
- · Dị mfe ihicha (ọ dakọtara na ihe mgbaze)
- · Oghere vacuum enwere ike ịhazi ya (concentric, radial, ụkpụrụ omenala)
Nha dị:
Gburugburu: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; square/rektangulu ma ọ bụrụ na achọrọ ya.
Anyị na-enyekwa ụdị ígwè maka ike igwe dị elu.
