Ihe na-eme ka e jiri seramiiki kpuchie Teflon - Ebe na-anaghị arapara arapara maka njikwa Wafer dị nro
Ihe mkpuchi njedebe seramiiki nke St.Cera's Teflon (PTFE) kpuchiri ekpuchi na-ejikọta ihe mkpuchi alumina siri ike nke ukwuu yana mkpuchi PTFE dị otu, nke na-adịghị agbagọ agbagọ (ọkpụrụkpụ 15–30 μm). Mkpuchi ahụ na-enye obere oke esemokwu (≤0.1), ezigbo iguzogide kemịkalụ, na ihe ndị na-anaghị arapara arapara, na-egbochi njikọta wafer ma na-ewepụ mmetọ azụ. Ihe mkpuchi seramiiki dị n'okpuru (99.8% Al₂O₃) na-enye ike flexural dị elu (361–1000 MPa), iguzogide iyi, na nkwụsi ike okpomọkụ ruo 260°C (oke mkpuchi). Ihe mkpuchi njedebe a dị mma maka ijikwa wafers dị nro, dị gịrịgịrị, ma ọ bụ nke na-arapara arapara (dịka ọmụmaatụ, mgbe mkpuchi photoresist ma ọ bụ usoro kemịkalụ gasịrị).
Nkọwapụta (dabere na 99.8% Al₂O₃ substrate nwere mkpuchi PTFE):
| Akụ na ụba | Uru |
| Ihe e ji mee ihe n'okpuru ala | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Ihe mkpuchi | PTFE (Teflon) |
| Ọkpụrụkpụ mkpuchi | 15–30 μm |
| Ọnụọgụ nke esemokwu (ekpuchiri) | ≤0.1 |
| Ike Mgbanwe nke Substrate (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Ike nke ihe ndị dị n'okpuru ala (Al₂O₃) | 16 GPA |
| Njupụta nke ihe ndị dị n'okpuru ala | 3.93 g/cm³ |
| Oke okpomọkụ ọrụ (oke mkpuchi) | 260°C |
| Nchacha Elu (tupu mkpuchi) | Ra ≤0.4 μm |
| Ike Dielectric (ihe ndị dị n'okpuru ala) | 15 × 10⁶ V/m |
Rịba ama: mkpuchi PTFE na-ebelata oke okpomọkụ ruo 260°C; maka ojiji okpomọkụ dị elu, tụlee seramiiki a na-ekpuchighị ekpuchi ma ọ bụ mkpuchi ndị ọzọ.
Ngwa:
- · Ijikwa wafers mgbe ejiri ihe mkpuchi photoresist kpuchie ya (elu ndị na-arapara arapara)
- · Mbufe nke wafer dị gịrịgịrị ma ọ bụ nke na-adịghị ike (na-egbochi ịrapara)
- · Ngwaọrụ nyocha na usoro metrologi semiconductor
- · Mmebi ihe nhicha ụlọ ebe a ga-ebelata mmetọ ihe dị n'ime ya
Usoro Mmepụta:
Ihe e ji seramiiki mee ka ala dị nro ma dị mma → ime ka elu dị nro (plasma etch ma ọ bụ grit blast) → mkpuchi ịgbasa PTFE → ime ka okpomọkụ dị na 380°C → nyocha ikpeazụ. A na-enyocha ihe nrụpụta njedebe ọ bụla maka ọkpụrụkpụ mkpuchi (eddy current), njikọta (nnwale cross-cut ASTM D3359), na ọnụọgụ nke esemokwu.
Njikwa Ogo:
Nnyocha anya 100% maka oghere ma ọ bụ afụfụ; nha nha nke ọkpụrụkpụ mkpuchi n'ime ±5 μm; enweghị delamination mgbe ule gbagọrọ agbagọ 90° na kupọnu akaebe gasịrị. Nyocha nha iji nweta ndidi OEM (ogologo ±0.05 mm, ịdị larịị ≤0.1 mm).
Uru karịa mkpuchi a na-ekpuchighị ekpuchi ma ọ bụ mkpuchi ndị ọzọ:
- · Elu nke na-anaghị arapara arapara na-egbochi njikọta na mmebi nke wafer
- · Oke kachasị ala nke esemokwu n'etiti mkpuchi seramiiki
- · Ezigbo iguzogide kemịkalụ (acids, bases, solvents)
- · Na-ebelata mmepụta ihe site na igbochi nnyefe ihe
Mmachi (okwu gbasara mgbanwe ihe):
A naghị enweta mkpuchi PTFE site na tebụl ihe onwunwe enyere (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Njirimara ihe mejupụtara ya na-agbaso akwụkwọ data enyere (99.8% Al₂O₃). Njirimara mkpuchi dabere na nkọwapụta PTFE nke ụlọ ọrụ, ebe ọ bụ na enyeghị data mkpuchi. Maka ngwa karịrị 260°C, a na-atụ aro ka e jiri seramiiki eme ihe na-enweghị mkpuchi.*
Nhazi:
Dị n'ogologo 150–1500 mm, ọdịdị nsọtụ (njide ọnụ, Bernoulli, dị larịị), ụkpụrụ flange agbatị dịka eserese OEM si dị. Mkpuchi akụkụ (naanị ebe kọntaktị) ma ọ bụ mkpuchi zuru oke nhọrọ.
Rịọ maka ihe nlele maka nnwale njikọta na esemokwu.
