Alumina Vacuum Chuck maka nkenke ịkpụ na egweri
A na-eji Al₂O₃ dị ọcha nke ukwuu 99.8% eme ihe site na oghere ikuku dị nkọ nke e ji igwe rụọ. Ike igwe anyị na-egweri ihe nke ọma na-enweta ịdị larịị nke 0.003mm na nha nhata nke 0.002mm, na-eme ka a na-edozi wafer na-enweghị wap n'oge ịkpụ, ịkpụ azụ, na inyocha ya. Ihe a na-enye ike mgbanwe dị elu (361 MPa), ike siri ike (16 GPa), na nkwụsi ike okpomọkụ ruo 800°C. Dị na usoro gburugburu ruo dayameta mpụta 600mm (OD) na ọdịdị akụkụ anọ ruo ogologo 1500mm. E mepụtara oghere ikuku nke ọma (usoro concentric, radial, ma ọ bụ grid) iji kwekọọ na ihe achọrọ maka usoro. A na-enyocha chuck ọ bụla site na iji laser interferometer ma nye ya akụkọ nkwenye dị larịị.
Nkọwapụta (dabere na 99.8% Al₂O₃& ikike mmepụta St.Cera):
| Akụ na ụba | Uru |
| ihe | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Njupụta | 3.93 g/cm³ |
| Ike nke Flexural | 361 MPa |
| Ike Vickers | 16 GPA |
| Dayameta Mpụta (kachasị) | 600mm |
| Ọkpụrụkpụ (kachasị) | 100mm |
| Ogologo (kachasị) | 1500mm |
| Ịdị larịị | 0.003mm |
| Iyikọ yiri ibe ya | 0.002mm |
| Mmecha Elu | Ra0.1 |
| Oke okpomọkụ ọrụ kachasị | 800°C |
Ngwa:
- · Ịkpụcha na ide ihe na Wafer (200mm/300mm na karịa)
- · Ịkpụcha azụ nke wafers dị gịrịgịrị
- · Nnyocha na nyocha anya
- · Njikwa nnukwu ihe owuwu
Nhazi nke ọma:
- · Nhazi kwụ ọtọ: 0.005mm
- · Nkwụsi ike: 0.005mm
- · Gburugburu: 0.002mm
- · Nha nhata: 0.01mm
