N'ịjikọta ya na uru arụmọrụ zuru oke nke ihe ndị e ji eme ihe Al2O3 na BeO, seramiiki Aluminum Nitride (AlN), nke nwere ike ime ka okpomọkụ dịkwuo elu (ike okpomọkụ nke monocrystal bụ 275W/m▪k, ike okpomọkụ nke polycrystal bụ 70~210W/m▪k), ike dielectric dị ala, ike mgbasa okpomọkụ nke kwekọrọ na silicon kristal otu, yana ezigbo ihe mkpuchi eletriki, bụ ihe zuru oke maka ihe ndị e ji eme ihe na nkwakọ ngwaahịa na ụlọ ọrụ microelectronics. Ọ bụkwa ihe dị mkpa maka ihe ndị e ji arụ ọrụ seramiiki dị elu n'ihi ezigbo ihe ndị e ji arụ ọrụ na okpomọkụ dị elu, ihe ndị e ji arụ ọrụ na ike kemịkalụ.
Njupụta echiche nke AlN bụ 3.26g/cm3, ike MOHS bụ 7-8, iguzogide okpomọkụ ụlọ karịrị 1016Ωm, na mmụba okpomọkụ bụ 3.5×10-6/℃ (okpomọkụ ụlọ nke 200℃). Seramiki AlN dị ọcha enweghị agba ma doo anya, mana ha ga-adị iche iche dị ka isi awọ, ọcha isi awọ ma ọ bụ odo odo dị mfe, n'ihi ihe ndị na-adịghị mma.
Na mgbakwunye na nnukwu ike okpomọkụ, seramiiki AlN nwekwara uru ndị a:
1. Ezigbo ihe mkpuchi eletriki;
2. Ihe yiri nke ahụ bụ mmụba okpomọkụ nke nwere silicon monocrystal, nke ka mma karịa ihe dịka Al2O3 na BeO;
3. Ike igwe dị elu na ike mgbanwe yiri ya na seramiiki Al2O3;
4. Mfu dielectric dị ala na nke dielectric;
5. Ma e jiri ya tụnyere BeO, okpomọkụ anaghị emetụta ike okpomọkụ nke seramiiki AlN nke ọma, ọkachasị karịa 200℃;
6. Nguzogide okpomọkụ dị elu na iguzogide nchara;
7. Enweghị nsí;
8. A ga-etinye ya n'ọrụ n'ụlọ ọrụ semiconductor, ụlọ ọrụ kemịkalụ na ngalaba ụlọ ọrụ mmepụta ihe ndị ọzọ.
Oge ozi: Julaị-14-2023