Ihe na-eme ka ígwè ọrụ seramiiki dị ọcha nke alumina dị elu maka ígwè ọrụ Wafer

A na-eji ngwa CNC dị elu nke nwere alumina seramiiki eme ihe nke St.Cera site na iji 99.8% dị ọcha nke ukwuu site na iji ngwa CNC dị elu nke nwere axis 5-axis. Ike nrụpụta anyị gụnyere igwe ngwecha ziri ezi na ebe igwe CNC, na-eme ka geometri dị mgbagwoju anya nwee ezigbo nkenke. Ihe ngwecha njedebe nwere profaịlụ dị gịrịgịrị (dị gịrịgịrị dịka 1.5 mm) yana akụkụ isi dị mkpụmkpụ maka ntinye wafer dị nro. Ihe a na-enye ike dị elu (modulus Young's 380 GPa), iguzogide iyi dị mma, na nkwụsi ike okpomọkụ ruo 800°C. A na-egweri nkeji ọ bụla nke ọma iji nweta larịị nke 0.003mm, parallelism nke 0.002mm, na njedebe elu nke Ra0.1, na-ahụ na kọntaktị wafer na-aga n'ihu na ọrụ na-enweghị ihe dị na gburugburu semiconductor FAB. Dị na ogologo site na 150 mm ruo 450 mm, yana geometries pụrụ iche (njide ọnụ, Bernoulli, flat) na flanges arụnyere iji dabara na robot OEM. Nhọrọ imecha elu gụnyere mkpuchi a kpụchara akpụcha, nke a kpụchara akpụcha, ma ọ bụ nke ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Nkọwapụta (dabere na 99.8% Al₂O₃& ikike mmepụta St.Cera):

Ngwa:

• · Nnyefe Wafer na robot ikuku na ikuku
• · Ndị na-emepụta njedebe na akpaaka FAB maka wafers 200mm/300mm
• · Njikwa wafer dị gịrịgịrị (na nhọrọ ESD)

Ike Mmepụta:
Igwe igwe anyị na-egweri ihe nke ọma na ebe igwe CNC na-eme ka mmepụta nke ihe seramiiki dị mgbagwoju anya na:

• · Ogologo igwe kachasị elu: 1500mm
• · Oke dayameta mpụta: 600mm
• · Dayameta ime kacha nta: 0.2mm
• · Oke ọkpụrụkpụ: 100mm

Njikwa Ogo:
Nhazi kwụ ọtọ 0.005mm, nhazi kwụ ọtọ 0.005mm, gburugburu 0.002mm, nhazi 0.002mm, nhazi etiti 0.01mm site na CMM. A na-ehicha nkeji ọ bụla site na ultrasonic ma tinye ya na cleanroom Class 100.