Igwe eji ígwè mee ka ọ dị nro ma dị nro maka njikwa Wafer SiC
Ihe mkpuchi seramiiki nke St.Cera nke e ji ígwè rụọ na-ejikọta akwa seramiiki silicon carbide (SiC) nke nwere ntọala ígwè a na-eji ígwè arụ ọrụ nke ọma (aluminom ma ọ bụ ígwè anaghị agba nchara). Ihe SiC nke nwere oghere (acha anụnụ anụnụ-ojii, porosity 35–40%, nha oghere 20–30 μm, permeability 60 ml/cm²·min) na-enye nkesa oghere dị nro, nke dị nro n'elu elu wafer dum, na-ewepụ akara nsọtụ ma na-enye nkwado na-anaghị emetụ aka maka obere (≤100 μm) ma ọ bụ wafer ndị gbagọrọ agbagọ. Oyi akwa SiC na-enye obere mgbasawanye okpomọkụ (3.5×10⁻⁶/℃), nkwụsi ike okpomọkụ ruo 1000°C, na ike flexural dị ala (32–35 MPa). Ntọala ígwè ahụ na-agbakwụnye ike nhazi, ntinye dị mfe site na oghere eriri, na nchebe megide mgbawa gbagọrọ agbagọ. Chuck a dị mma maka ịkpụ azụ, ịkpụ, na nhazi wafer okpomọkụ dị elu ebe oghere oghere na ndakọrịta okpomọkụ dị oke mkpa.
Nkọwapụta (dabere na data SiC dị nro enyere):
| Akụ na ụba | Uru |
| Ihe E Ji Eseramiki Mee | Porous Silicon Carbide (SiC ≥80%) |
| Agba | Ojii-acha anụnụ anụnụ |
| Ntụpọsi | 35–40% |
| Nha oghere | 20–30 μm |
| Njupụta | 2.1–2.3 g/cm³ |
| Ịgafe | 60 ml/cm²·min |
| Ike nke Flexural | 32–35 MPa |
| Ọnụọgụ Mgbasawanye Okpomọkụ (25-1000°C) | 3.5 × 10⁻⁶/℃ |
| Oke Okpomọkụ Ọrụ Kachasị | 1000°C |
| Nguzogide Ọdụdọ | 10⁻¹⁰ Ω/cm (kwa data enyere, nke a na-ahụkarị maka SiC nwere oghere) |
| Ihe Ntọala Metal | Aluminom 6061 ma ọ bụ ígwè anaghị agba nchara 304 (nhọrọ) |
| Ọkpụrụkpụ nke Ntọala Metal | 10–30 mm (omenala) |
Rịba ama: Ike flexural dị ala karịa SiC dị oke njupụta n'ihi porosity. Njirimara ntọala ígwè abụghị nke tebụl seramiiki.
Ngwa:
- · Ịkpụcha azụ nke obere wafers (≤100 μm)
- · Ịwụnye wafer gbagọrọ agbagọ maka ịkpụ
- · Ịkpụcha wafer dị elu (ruo 1000°C)
- · Ịtinye ihe n'ime vacuum maka ihe ndị nwere oghere ma ọ bụ ihe ndị na-adịghị ike
Mmepụta:
Efere SiC dị warara (e ji ihe ndị e ji oghere mepụta, nke a na-ete n'ime ya) → e ji aka ya dị larịị ≤10 μm → ntọala ígwè ejiri oghere ikuku na ihe ndị e ji etinye ihe rụọ → njikọ epoxy ma ọ bụ ihe e ji emechi ihe → ule ntapu helium.
Njikwa Ogo:
- · SEM kwadoro nha porosity na pores
- · Nnwale nnyefe (ikuku)
- · Ịdị larịị nke ejiri laser interferometer tụọ
- · Ọkwa ntapu helium <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Uru karịa Grooved ma ọ bụ Dense Ceramic Chucks:
- · Enweghị akara wafer - oghere ọcha otu otu na-enweghị oghere dị iche iche
- · Pores na-ehicha onwe ya - mbelata mkpọchi
- · Na-eji wafer ndị gbagọrọ agbagọ (ruo 500 μm ụta)
- · Ntọala ígwè na-egbochi mgbawa gbawara agbawa ma na-eme ka njikọta dị mfe
Mmachi:
- · Ike flexural dị ala (32–35 MPa) – zere ibuli mmetụta
- · Okpomọkụ ọrụ ezubere na 1000°C (SiC nwere oghere), mana njikọ epoxy nke ntọala ígwè na-ejedebe na ≤200°C ọ gwụla ma ejiri igwe kpuchido ya
- · Ọ bụghị maka oghere nrụgide dị elu (nhazi oghere na-egbochi oke ọdịiche oghere kachasị)
Nhazi:
- · Ntọala ígwè: aluminom (ọkụ), ígwè anaghị agba nchara (anaghị eguzogide ire ere), Invar (mgbasawanye dị ala)
- · Njikọta: epoxy (≤200°C) ma ọ bụ ihe njide igwe (ruo 500°C)
- · Mgbaaka mkpuchi ọnụ maka njikwa oghere mpaghara
Biko mara: Ike flexural enyere (32–35 MPa) dị obere nke ukwuu karịa seramiiki dị oke arọ n'ihi porosity. Jiri nlezianya jide ya iji zere mgbawa n'akụkụ.
