-
Ogwe aka robot Alumina seramiiki dị elu maka njikwa Wafer
Ejiri Al₂O₃ dị ọcha nke 99.8% (alumina) mee ogwe aka robot alumina nke St.Cera. Ọ na-ejikọta ike flexural pụrụ iche (361 MPa), ike siri ike dị elu (16 GPa), na obere njupụta (3.93 g/cm³), nke na-eme ka ogwe aka dị fechaa mana sie ike maka mbufe wafer semiconductor. Ihe mejupụtara mgbasawanye okpomọkụ nke ihe ahụ (7.2×10⁻⁶/°C) na-adakọ nke ọma na silicon, na-ebelata enweghị ike na okpomọkụ n'oge nhazi.
-
Ihe na-eme ka ihe na-esi ísì ụtọ nke Bernoulli pụta — Njikwa Wafer na-anaghị emetụ aka maka Wafers dị gịrịgịrị na ndị na-adịghị ike
Ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe ghara imetụ aka. E ji ihe dị ọcha nke 99.8% alumina (Al₂O₃) ma ọ bụ silicon carbide (SiC) rụọ ya, o nwere ihe ndị e ji ígwè rụọ nke ọma nke na-ewepụta gas a rụnyere n'ọkụ iji mepụta ihe nkiri ikuku dị gịrịgịrị n'etiti ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe ghara imetụ aka. Ụkpụrụ a na-anaghị emetụ aka na-ewepụ mmetọ azụ, mgbawa n'akụkụ, na mmebi elu, na-eme ka ọ dị mma maka obere (≤100 μm), obere wafer, ma ọ bụ gbagọrọ agbagọ. Ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe ghara imetụ aka nke ọma (361 MPa maka Al₂O₃; ruo 550–600 MPa maka SiC), obere oke, na nkwụsi ike dị mma, na-eme ka e nwee ike imegharị ya na robot ndị na-ebufe wafer ọsọ ọsọ.
-
Ihe na-eme ka e jiri seramiiki kpuchie Teflon - Ebe na-anaghị arapara arapara maka njikwa Wafer dị nro
Ihe mkpuchi seramiiki nke e ji Teflon (PTFE) kpuchie na St.Cera na-ejikọta ihe mkpuchi alumina siri ike nke ukwuu yana mkpuchi PTFE dị otu, nke na-adịghị agbagọ agbagọ (ọkpụrụkpụ ya bụ 15–30 μm). Ihe mkpuchi a na-enye obere oke esemokwu (≤0.1), ezigbo iguzogide kemịkalụ, na ihe ndị na-anaghị arapara arapara, na-egbochi njikọta wafer ma na-ewepụ mmetọ azụ. Ihe mkpuchi seramiiki dị n'okpuru (99.8% Al₂O₃) na-enye ike flexural dị elu (361–1000 MPa), iguzogide iyi, na nkwụsi ike okpomọkụ ruo 260°C (oke mkpuchi). Ihe mkpuchi a dị mma maka ijikwa wafers dị nro, dị gịrịgịrị, ma ọ bụ nke na-arapara arapara (dịka ọmụmaatụ, mgbe mkpuchi photoresist ma ọ bụ usoro kemịkalụ gasịrị).
