Ihe na-eme ka ihe na-esi ísì ụtọ nke Bernoulli pụta — Njikwa Wafer na-anaghị emetụ aka maka Wafers dị gịrịgịrị na ndị na-adịghị ike

Ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe ghara imetụ aka. E ji ihe dị ọcha nke 99.8% alumina (Al₂O₃) ma ọ bụ silicon carbide (SiC) rụọ ya, o nwere ihe ndị e ji ígwè rụọ nke ọma nke na-ewepụta gas a rụnyere n'ọkụ iji mepụta ihe nkiri ikuku dị gịrịgịrị n'etiti ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe ghara imetụ aka. Ụkpụrụ a na-anaghị emetụ aka na-ewepụ mmetọ azụ, mgbawa n'akụkụ, na mmebi elu, na-eme ka ọ dị mma maka obere (≤100 μm), obere wafer, ma ọ bụ gbagọrọ agbagọ. Ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe ghara imetụ aka nke ọma (361 MPa maka Al₂O₃; ruo 550–600 MPa maka SiC), obere oke, na nkwụsi ike dị mma, na-eme ka e nwee ike imegharị ya na robot ndị na-ebufe wafer ọsọ ọsọ.

Rịba ama na ihe eji arụ ọrụ:Alumina (Al₂O₃) bụ ihe a na-ejikarị eme ihe maka ihe ndị na-eme ka seramiiki dị n'ime semiconductor wafer n'ihi njikọta ya dị mma nke ike, mkpuchi eletriki, nkwụsi ike kemịkalụ, na ịdị irè ọnụ ahịa. Silicon carbide (SiC) na-enye ike okpomọkụ dị elu, ike dị elu, na ọbụna iguzogide iyi ka mma maka ngwa ndị kacha sie ike. Ọ bụ ezie na yttria-stabilized zirconia (ZrO₂) na-enye ike mgbawa dị elu na okpomọkụ ụlọ, a naghị eji ya eme ihe na ngwa a n'ihi njupụta ya dị elu na njirimara mgbasa okpomọkụ dị iche iche; enwere ike ịtụle ya maka ọnọdụ ụfọdụ ebe achọrọ ike mgbawa pụrụ iche. Biko gakwuru ndị otu teknụzụ anyị maka ntuziaka nhọrọ ihe.

Nkọwapụta(dabere na 99.8% Al₂O₃):

Ụkpụrụ Ọrụ:

A na-enye ikuku ma ọ bụ nitrogen (0.2–0.6 MPa) site na ọwa dị n'ime ma na-apụ site na nozzles ziri ezi. Ikuku ikuku na-agba ọsọ na-emepụta mpaghara nrụgide dị ala n'elu ihe na-eme ihe na njedebe (mmetụta Bernoulli), na-emepụta ike ibuli elu nke na-akwado wafer ahụ na oghere nke 50–200 μm. Oghere ma ọ bụ paadị oghere anaghị emetụta azụ wafer ahụ.

Ngwa:

• · Mkpụcha wafer dị gịrịgịrị (≤50 μm) mgbe e gweri azụ ya
• · Njem wafer gbagọrọ agbagọ (dịka ọmụmaatụ, mgbe CVD gasịrị ma ọ bụ mgbe a na-eme ka ọ dị ọcha)
• · Nnyefe mkpụrụ ndụ anyanwụ na ihe mkpuchi sapphire LED
• · Akpaaka ụlọ nhicha nke na-achọghị mmepụta ihe ọ bụla
• · Njikwa panel iko n'ime mmepụta ihe ngosi

Usoro Mmepụta:

Ihe e ji seramiiki mee ka ọwa gas na oghere nozzle dị elu dị → CNC nke nwere axis ise (dayameta 0.3–1.0 mm, ndidi ±0.01 mm) → elu ya na-agbada ruo Ra ≤0.4 μm → nhicha ultrasonic → ule ntapu helium (ọwa gas). Achọghị mkpuchi - elu seramiiki ahụ na-adịghị arụ ọrụ nke ọma ma na-anaghị emerụ ahụ.

Njikwa Ogo:

• · Nnyocha nha 100% (CMM) nke ọnọdụ nozzles, ogologo aka, na ịdị larịị
• · Nnwale nha nha nke ikuku: mbelata nrụgide ≤5% n'ofe nozzles niile
• · Nnwale ntapu: ọwa gas emechiri na 0.6 MPa, enweghị mbelata nrụgide karịa sekọnd 30
• · Nnyocha anya n'okpuru igwe onyonyo 20× maka obere mgbawa ma ọ bụ mgbawa

AUru karịa Ndị Na-eme Ka Njikọta Kọntaktị Dị Iche Iche:

• · Enweghị mmetọ n'azụ wafer — enweghị kọntaktị igwe
• · Enweghị mgbawa ma ọ bụ mgbawa nke wafers dị gịrịgịrị
• · Na-eji eriri wafer gbagọrọ agbagọ (ruo 1 mm ụta) nke nwere oghere kwụsiri ike
• · Na-ewepụ ihe na-emepụta ihe na-ekpo ọkụ na mmezi nke ihe na-agba oghere
• · Ihe owuwu seramiiki na-eguzogide iyi na mwakpo kemịkalụ

Nhazi:

• · Dị maka nha wafer 200 mm, 300 mm, ma ọ bụ nha wafer ahaziri ahazi
• · Ụdị ihe mkpuchi gas: ụdị vortex kwụ ọtọ, nke nwere akụkụ anọ, ma ọ bụ nke nwere oghere
• · Ihe eji eme ihe: alumina (ọkọlọtọ) ma ọ bụ silicon carbide (maka ike kachasị elu nke okpomọkụ na iguzogide iyi)
• · Ogologo aka, flange arụnyere, na ebe ọdụ ụgbọ mmiri gas dị ka eserese OEM si dị

Mmachi:

Mmejuputa ụkpụrụ Bernoulli (nhazi nozzle, oghere ikuku) karịrị oke tebụl ihe onwunwe enyere. Njirimara igwe na okpomọkụ dị n'elu na-agbaso mpempe akwụkwọ data enyere maka 99.8% Al₂O₃. A naghị atụ anya mmebi arụmọrụ nke seramiiki n'okpuru nrụgide gas na-asọfe dabere na ihe onwunwe ndị a. Maka wafers ndị na-enwe mmetụta na gas na-asọfe (dịka ọmụmaatụ, MEMS nwere ihe owuwu na-adịghị ike), a ga-agbanwe nrụgide gas na nhazi nozzle dịka o kwesịrị.