Porous seramiiki agụụ Chuck maka gbagọrọ agbagọ Wafer njikwa
E ji alumina dị ọcha nke ukwuu mepụta ihe mkpuchi seramiiki St.Cera nke nwere oghere dị larịị nke 30–45%, nha oghere dịkwa site na 10 ruo 100 μm. N'adịghị ka ihe mkpuchi nkịtị a na-akpọ gọlfụ, elu oghere ahụ na-enye oghere kesara n'akụkụ azụ wafer niile, na-ejide wafer ndị gbagọrọ agbagọ, dị gịrịgịrị, ma ọ bụ ndị a na-akpọ gọlfụ nke ọma na-enweghị ebuli ma ọ bụ gbajie n'akụkụ. Vacuum dị nro (nke a na-agbanwe site na ihe mgbochi) na-egbochikwa akara azụ.
Nkọwapụta(dabere na 99.6% Al₂O₃):
| Akụ na ụba | Uru |
| Ntụpọsi | 30–45% |
| Nha oghere nkezi | 10–100 μm (a pụrụ ịhọrọ) |
| Ike nke Flexural | ≥250 MPa |
| Ịdị larịị (karịa 300mm) | ≤5 μm |
| Mmecha Elu | A gbajiri agbaji (Ra 0.8 μm) |
| Ọkwa Vacuum Kachasị Elu | -80 kPa |
| Okpomọkụ Ọrụ | 400°C (ikuku), 600°C (anaghị anọ) |
| ihe | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, ma ọ bụ SiC |
Ngwa:
Nchacha azụ wafer dị gịrịgịrị (≤50 μm)
Ịwụnye wafer gbagọrọ agbagọ maka ịkpụ
Ntụtụta ihe e ji teepu mee
Njikwa panel iko
Mmepụta na Ogo:
A na-agwakọta ntụ ntụ seramiiki na ihe ndị e ji oghere organic mee → a pịrị → a na-esi n'ime ya → a na-agba ya ruo ọkpụrụkpụ ikpeazụ. A na-anwale ihe ọ bụla e ji mmiri mee maka nha oghere (≤5% dividence) ma lelee ya maka nkesa nha oghere (SEM). A na-eji laser interferometer tụọ ịdị larịị.
Uru karịa Grooved Chucks:
Enweghị akara n'ọnụ wafer ma ọ bụ mgbanwe anwụ
Na-ejide wafers gbagọrọ agbagọ (ruo 500 μm ụta)
Na-ewepụ mkpọchi oghere vacuum
Nkwado nhazi onwe onye maka ihe ndị dị gịrịgịrị
Nhazi:
Ọdịdị gburugburu ma ọ bụ akụkụ anọ, nha ya ruru 600 mm. Anyị nwere ike itinye mgbaaka mkpuchi ọnụ ma ọ bụ nkebi oghere mpaghara. Ụdị ndị a na-eji ígwè eme ihe dị maka ihe ndị dị mkpa maka ịdị ike dị elu.
Rịọ maka ihe nlele maka nha wafer gị na ule warpage gị.
