Ntụtụ Nkwado Seramiiki maka Ngwakọta Usoro Semiconductor
A na-eji ntụtụ seramiiki St.Cera (a makwaara dịka ntụtụ ebuli ma ọ bụ ntụtụ nkwado) eme ihe n'ime ụlọ ọrụ nhazi semiconductor iji bulie wafers ma ọ bụ substrates elu n'oge njikwa, ikpo ọkụ, ma ọ bụ oyi. Ejiri 99.8% alumina ma ọ bụ silicon nitride mepụta ntụtụ ndị a, ha na-enye ike nrụgide dị elu, nkwụsi ike okpomọkụ, na iguzogide kemịkalụ. Nhazi nke nsọtụ hemispherical ma ọ bụ dị larịị na-egbochi ịkpụcha wafer.
Nkọwapụta(Alumina 99.8%):
| Akụ na ụba | Uru |
| ihe | 99.8% Al₂O₃ ma ọ bụ Si₃N₄ |
| Ogologo | 10 – 100 mm |
| Dayameta | 1 – 10 mm |
| Ọdịdị Ntụaka | Dị larịị, nke dị n'akụkụ abụọ, nke nwere ntụpọ |
| Ike Mkpakọ (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Oke okpomọkụ ọrụ (Al₂O₃) | 1600°C |
| Mmecha Elu | A gbajiri agbaji (Ra ≤0.4 μm) |
| Ndidi na Dayameta | ±0.01 mm |
Ngwa:
Mbuli elu n'ime ụlọ CVD/PVD
Nkwado ntụtụ maka ime achịcha na hotplate
Nhazi nkwado kaadị nyocha
Nkwado ụgbọ mmiri ọkụ quartz
Mmepụta:
Nchikota nke OD na-enweghị etiti → Ịcha diamond nke profaịlụ isi → Ịsacha ultrasonic → Nnyocha nha 100%.
Njikwa Ogo:
CMM maka ogologo/dayameta, ihe ntụnyere anya maka radius isi, nnwale ibu iji chọpụta ike nrụgide (ihe nlele na-enweghị usoro kwa lot). Enweghị mmetọ ferromagnetic (eji magnet akwado ya).
Uru karịa ntụtụ ígwè ma ọ bụ quartz:
Ogologo ndụ ugboro ise karịa ígwè anaghị agba nchara
Enweghị mmetọ ígwè n'ime ụlọ ọrụ nhazi
Ike okpomọkụ dị elu karịa quartz (1600°C vs 1100°C)
Elu na-anaghị arapara arapara (mbelata njikọta nke ihe ndị dị n'ime ya)
Nhazi:
Ọtụtụ profaịlụ isi, ntọala eriri, ma ọ bụ ogwe gbagọrọ agbagọ.
Anyị na-enyekwa pin SiC maka gburugburu plasma dị oke njọ.
