Mgbaaka Akara Alumina nke Dị Ọcha Dị Elu maka Mmechi Ụlọ Okpomọkụ Dị Elu
Emebere mgbanaka seramiiki nke St.Cera dị ka ihe ọzọ maka mgbanaka O-mgbanaka polima n'ebe dị oke njọ ebe elastomers na-emebi emebi. Ejiri 99.8% alumina dị ọcha (Al₂O₃) rụọ mgbanaka akara siri ike a, a na-eji ya eme ihe n'ime ngwa mkpuchi static - nke a na-ejikọkarị ya na gasket metal ma ọ bụ graphite dị nro - iji nye oghere ikuku ma ọ bụ gas a pụrụ ịdabere na ya na okpomọkụ ruo 800°C na gburugburu plasma ma ọ bụ kemịkalụ siri ike. Ihe a na-enye enweghị gas na-apụ apụ, ike nrụgide dị elu (ike flexural dị n'okpuru 361 MPa), na enweghị ike kemịkalụ (na-eguzogide halogens, asịd, na alkalis ma e wezụga HF). Ebe mkpuchi a na-emechi emechi (ịdị larịị ≤5 μm, oke iru ala Ra ≤0.2 μm) na-eme ka ọ dị mfe ịnweta njikọ na ihe ndị mejupụtara ígwè ma ọ bụ seramiiki.
Nkọwapụta(dabere na 99.8% Al₂O₃):
| Akụ na ụba | Uru |
| ihe | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Njupụta | 3.93 g/cm³ |
| Mmịpụta Mmiri | 0% |
| Ike nke Flexural | 361 MPa |
| Ike Mkpakọ (e.g.) | >2000 MPa |
| Ike Vickers | 16 GPA |
| Mgbasawanye Okpomọkụ (25–1000°C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Oke Okpomọkụ Ọrụ Kachasị | 800°C (ikuku), 1600°C (anaghị arụ ọrụ) |
| Mmecha Elu (ihu mkpuchi) | Ra ≤0.2 μm (a na-akụda ya) |
| Nha dị larịị (kwa 25 mm) | ≤5 μm |
| Ọnụego ntapu helium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (nwere gasket kwesịrị ekwesị) |
Ngwa:
- · Ihe mkpuchi usoro semiconductor static chamber (CVD, PVD, etch)
- · Ihe mkpuchi ọnụ ụzọ ọkụ dị elu
- · Flanges nri site na vacuum
- · Mmechi arịa ihe nrụpụta kemịkalụ
Usoro Mmepụta:
Isostatic pressing → sintering na 1600°C → nhazi akụkụ abụọ nke ọma iji nweta ihu mkpuchi dị larịị ma dị ire ụtọ → nhazi ihu → nhicha ultrasonic. A na-anwale mgbanaka ọ bụla 100% site na ihe nchọpụta mmiri helium na gasket ígwè ọkọlọtọ.
Njikwa Ogo:
- · Nlele nha CMM (ID, OD, ọkpụrụkpụ, parallelism)
- · Profilemita elu maka Ra na waviness
- · Nha nha site na iji ụlọ elu anya
- · Nnwale ntapu mmiri helium (usoro nrụgide azụ)
Uru karịa mgbaaka O-mgbanaka Polymer:
- Na-eguzogide 800°C vs. <300°C maka FFKM
- · Enweghị ikuku na-apụ apụ — enweghị mmetọ nke gburugburu ebe obibi vacuum
- · Na-eguzogide ọgwụ niile dị na plasma (fluorine, chlorine, oxygen)
- · Enweghị ntọala mkpakọ ma ọ bụ mgbanwe na-adịgide adịgide
- · Ndụ ọrụ na-enweghị njedebe na gburugburu ebe dị ọcha
Mmachi (Okwu Ndị Dị Mkpa):
- · Ọ bụghị mgbanaka O— ọ bụ mgbaaka seramiiki siri ike nke chọrọ gasket dị nro (ọla kọpa, aluminom, ma ọ bụ graphite) iji mechie.
- · Anaghị anabata mmegharị ike ma ọ bụ nhazi flange buru ibu.
- · Ọnụ ego mbụ dị elu karịa mgbanaka O-mgbanaka polymer, mana ndụ ogologo oge na-ebelata ọnụ ahịa nke onye nwe ya.
- · Na-agbawa agbawa — jiri nlezianya jide aka; zere mmetụta isi ma ọ bụ nrụgide gbagọrọ agbagọ.
Rịba ama:Data dị n'elu na-agbaso kpọmkwem tebụl ihe onwunwe Al₂O₃ enyere. E nyeghị data maka ihe elastomeric. Ngwaahịa a bụ mgbanaka akara kwụ ọtọ, ọ bụghị mgbanaka O-elastomeric. Biko chọpụta ma nke a ruru ihe achọrọ maka ngwa gị.
